新型 INFICON 皮拉尼壓電組合真空計(jì) （PPG570） 基于*先進(jìn)的 MEMS（微機(jī)電系統(tǒng)）傳感器技術(shù)，該技術(shù)也用于我們的 PPG550“ATM 至中真空”壓力計(jì)。

PPG570與PPG550的區(qū)別在于附加安裝的ATM傳感器，允許在經(jīng)典的負(fù)載鎖定應(yīng)用中使用PPG570。例如，在半導(dǎo)體行業(yè)或任何其他真空應(yīng)用中，相對(duì)于大氣環(huán)境壓力的精準(zhǔn)壓力測(cè)量非常重要。

在MEMS工藝中小型化的皮拉尼/壓電組合技術(shù)可以構(gòu)建一個(gè)非常小的傳感器，從而節(jié)省空間，這使得測(cè)量設(shè)備的整體高度非常小成為可能。

除了高度低的優(yōu)勢(shì)外，基于MEMS技術(shù)的皮拉尼還具有在高壓范圍內(nèi)比經(jīng)典皮拉尼更深、更精準(zhǔn)地測(cè)量的優(yōu)勢(shì)。結(jié)合安裝在同一法蘭上的MEMS壓電傳感器，皮拉尼真空計(jì)成為真正的真空寬量程計(jì)，將測(cè)量范圍擴(kuò)展到遠(yuǎn)遠(yuǎn)超過通常的1000 mbar，也朝向大氣。同時(shí)，MEMS壓電傳感器提供2 ...1333毫巴。上述技術(shù)的另一個(gè)優(yōu)點(diǎn)是增加了對(duì)加速力和振動(dòng)的抵抗力。

*后但并非*不重要的一點(diǎn)是，新型 INFICON PPG570 可用于直接插入，以取代所謂的 MKS 儀器 MKS901P“微型皮拉尼?和壓電負(fù)載鎖真空壓力傳感器”。PPG570具有相同的連接器/引腳分配，模擬輸出和RS232/485數(shù)字通信協(xié)議兼容性。

好處
1，氣體類型與 2 mbar 以上無關(guān) – 允許使用任何氣體混合物安 全排氣
2，在大氣中具有高精度和可重復(fù)性 – 用于可靠、快速的大氣壓檢測(cè)
3，大氣環(huán)境壓力測(cè)量
4，多達(dá) 3 個(gè)固態(tài)繼電器
5，安裝方向的多功能 – 為工具設(shè)計(jì)提供工程自由度
6，可選模擬輸出信號(hào)，便于系統(tǒng)集成
7，數(shù)字接口 RS232/ RS485
8，能夠直接插入替換MKS901P“微型皮拉尼? - 和壓電負(fù)載鎖真空壓力傳感器”。
9，合規(guī)性和標(biāo)準(zhǔn)：CE，EN，UL，CSA，RoHS

典型應(yīng)用
1，半導(dǎo)體負(fù)載鎖應(yīng)用
2，用于分析設(shè)備/質(zhì)量分離計(jì)
3，物**相沉積
4，物**相沉積