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產(chǎn)品詳情
簡單介紹：
INFICON AugentTM光學(xué)等離子體測量儀是一種緊湊的智能真空監(jiān)測解決方案。AugentTM將兩種傳感器技術(shù)結(jié)合到一個(gè)緊湊的設(shè)備中，用于1 x 10-7 至 5 mbar 的氣體類型監(jiān)測，并同時(shí)測量 1 x 10-7mbar 到大氣壓的總壓力。A...
詳情介紹：
INFICON AugentTM光學(xué)等離子體測量儀是一種緊湊的智能真空監(jiān)測解決方案。AugentTM 將兩種傳感器技術(shù)結(jié)合到一個(gè)緊湊的設(shè)備中，用于 1 x 10-7 至 5 mbar 的氣體類型監(jiān)測，并同時(shí)測量 1 x 10-7mbar 到大氣壓的總壓力。AugentTM由集成的皮拉尼傳感器保護(hù)，可關(guān)閉 20 mbar 以上的等離子體?？焖俟鈱W(xué)測量原理原則上可以檢測任何類型的氣體。
好處
1，高速泄漏檢測允許腔室泄漏測試
2， 提高生產(chǎn)率和產(chǎn)量
3，使用壽命長，無燈絲**，氣涌保護(hù)
4，承受工藝化學(xué)反應(yīng)
5，智能算法，易于集成
6，設(shè)計(jì)緊湊，占地面積小
7，可靠且快速的啟動(dòng)
典型應(yīng)用
1，腔室泄漏檢查，更快的RoR（上升速率）測試
2，泄漏檢查以查找供氣管線的內(nèi)部泄漏
3，實(shí)時(shí)終點(diǎn)控制
4，氣體類型和濃度控制
