BPG400 大氣壓至超高真空真空計(jì)

BPG402-SX大氣壓至超高真空真空計(jì)

INFICON貝阿德-阿爾珀特皮拉尼（Pirani）BPG400型復(fù)合真空計(jì)將兩種真空計(jì)的功能融合到一個(gè)緊湊的裝置中，測(cè)量范圍從 5×10-10 毫巴至大氣壓（3.8×10-10 托至大氣壓）。 多項(xiàng)技術(shù)相結(jié)合降低了安裝、設(shè)置和集成的復(fù)雜性。 選擇BPG400真空計(jì)，價(jià)格經(jīng)濟(jì)，且可重復(fù)測(cè)量基準(zhǔn)壓力。

益處

• 測(cè)量范圍非常廣，從 5×10-10 毫巴至大氣壓（3.8×10-10 托至大氣壓）
• 10-8 … 10-2 毫巴過(guò)程壓力范圍內(nèi) 5% 的優(yōu)良可重復(fù)性
• 皮拉尼聯(lián)鎖保護(hù)貝阿德-阿爾珀特系統(tǒng)在高壓操作下單絲過(guò)早燒毀和過(guò)度污染
• 使用壽命長(zhǎng)的氧化釔銥絲
• 備有可選的圖形顯示屏和現(xiàn)場(chǎng)總線接口
• 高真空皮拉尼自動(dòng)調(diào)節(jié)，減少操作員干預(yù)
• RoHS 合規(guī)
• 低真空和超高真空范圍內(nèi)的一般真空測(cè)量和控制  

典型應(yīng)用

• 對(duì)半導(dǎo)體過(guò)程和傳輸腔室的壓力測(cè)量
• 工業(yè)鍍膜
• 低真空和超高真空范圍內(nèi)的一般真空測(cè)量和控制