SKY® CDG100D 0.1 ... 1000 托/毫巴

另有160度，200度可選：

SKY® CDG160D 1 ... 1000 托 / 毫巴

SKY® CDG160D 1 ... 1000 托 / 毫巴

INFICON SKY CDG100D 壓力計是實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)總壓測量與控制的理想之選。CDG100D真空計溫度控制在 100 °C，具有超卓的性能，適用于苛刻的半導(dǎo)體和等離子過程。在 100 毫托至1000 托滿刻度范圍內(nèi)均可使用，帶有所有常用類型的法蘭和現(xiàn)場總線接口，能夠提供 0 至 10V、不受氣體類型限制的線性壓力信號。 INFICON 電容式壓力計采用超純氧化鋁陶瓷隔膜，具有防腐蝕性。 陶瓷傳感器具有信號穩(wěn)定性更佳、從大氣恢復(fù)的速度更快、預(yù)熱時間短和使用壽命長等諸多優(yōu)勢。 INFICON CDG 品質(zhì)超卓，非常具有成本效益，適用于苛刻的半導(dǎo)體、等離子和真空應(yīng)用。

益處

• 擁有成本更低，預(yù)熱速度快 50%，節(jié)能，低功耗
• 易于集成，各種滿刻度、法蘭和接口，標(biāo)配兩個設(shè)定點(diǎn)
• 輕松一鍵調(diào)零或遠(yuǎn)程信號調(diào)零指令，可調(diào)零點(diǎn)偏移
• 診斷端口用于快速維修和維護(hù)
• 兩年保修服務(wù)，先進(jìn)的加熱概念和真空計保護(hù)延長了使用壽命
• 超卓的信號穩(wěn)定性和可重復(fù)性，即使是苛刻的等離子應(yīng)用，都無需長期執(zhí)行重新校準(zhǔn)
• 合規(guī)性與標(biāo)準(zhǔn)： CE、EN、UL、SEMI、RoHS

典型應(yīng)用

• 用于刻蝕、CVD、PVD 和其他半導(dǎo)體制造過程
• 化學(xué)和腐蝕性高溫過程
• 需要真空計保護(hù)的一般薄膜和真空過程

新聞

配備 EtherCAT 數(shù)字接口現(xiàn)在可用！